2010-2-22 21:43:56 | 显示全部楼层 | 阅读模式
目前在镀膜工艺中,遇到一个情况,即:双离子束溅射时,样品表面为倾斜的(不与行星盘平行),镀1064nm增透,这样会是什么样子,有人遇到过吗?谢谢,请多多指教。
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